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碳化硅单晶资料在第三代半导体资料发展过程

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碳化硅单晶资料是第三代宽带隙半导体资料的代表,,碳化硅(SiC)单晶资料拥有禁带宽度大、 、、热导率高、 、、电子饱和迁徙速度高和击穿电场高档性质。 !iC器件在高温、 、、高压、 、、高频、 、、大功率电子器件领域和航天、 、、军工、 、、核能等极端环境利用领域有着不成代替的优势,,添补了传统半导体资料器件在现实利用中的缺点,,正逐步成为功率半导体的主流。 !

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在宽禁带半导体资料领域就技术成熟度而言,,碳化硅是这族资猜中最高的,,是宽禁带半导体的主题。 !iC资料是IV-IV族半导体化合物,,拥有宽禁带(Eg:3.2eV)、 、、高击穿电场(4×106V/cm)、 、、高热导率(4.9W/cm.k)等特点。 !4咏峁股辖,,SiC资料属硅碳原子对密排结构,,既能够当作硅原子密排,,碳原子占其四面体空位;;;又可当作碳原子密排,,硅占碳的四面体空位。 !6杂谔蓟杳芘沤峁,,由单向密排方式的分歧产生各类分歧的晶型,业已发现约200种。 !D壳白畛<米羁矸旱氖4H和6H晶型。 !4H-SiC出格合用于微电子领域,,用于制备高频、 、、高温、 、、大功率器件;;;6H-SiC出格合用于光电子领域,,实现全彩显示。 !

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随着SiC技术的发展,,其电子器件和电路将为系统解决上述挑战奠定坚实基础。 !R蚨鳶iC资料的发展将直接影响宽禁带技术的发展。 !iC器件和电路拥有超强的机能和辽阔的利用远景,,因而一向受业界高度器重,,根基形成了美国、 、、欧洲、 、、日本鼎足之势的局面。 !D壳,,国际上实现碳化硅单晶抛光片商品化的公司重要有美国的Cree公司、 、、Bandgap公司、 、、DowDcorning公司、 、、II-VI公司、 、、Instrinsic公司;;;日本的Nippon公司、 、、Sixon公司;;;芬兰的Okmetic公司;;;德国的SiCrystal公司,,等。 !F渲蠧ree公司和SiCrystal公司的市场占有率超过85%。 !T谒械奶蓟柚票赋讨幸悦拦鶦ree公司最强,,其碳化硅单晶资料的技术水平可代表了国际水平,,专家预测在将来的几年里Cree公司还将在碳化硅衬底市场上独占鳌头。 !

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碳化硅单晶资料的技术发展集中在蓬勃国度领域,,目前发展中国度在半导体资料,,精密合金,,溅射靶材,,金属合金资料等方面都落后于蓬勃国度,,发展中国度只能依附高价进口这些合金资料和半导体资料,,这对于一个国度工业安全有极度大的影响,,高科技企业的发展和基础幽微,,影响综合实力的发展;;;

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