1. 什么是晶振片( Crystal Sensor )

薄薄圆圆的晶振片，，起源于多面体石英棒，，先被切成闪闪发光的六面体棒，，再经过反复的切割和研磨，，石英棒最终被做成一堆薄薄的（厚0.23mm，，直径13.98mm）圆片，，每个圆片经切边，，抛光和洗濯，，最后镀上金属电极（正面全镀，，背面镀上钥匙孔形），，经过检测，，包装就能够出厂使用。。晶体的质量和寿命不仅影响速度和厚度丈量的正确性，，更重要的是还决定着受节制的过程能否成功实现。。

2. 晶振片( Crystal Sensor )的工作道理

石英晶体若在晶片的两侧施加机械压力，，则在晶片相应的方向大将产生电。。，这种物理景象称为压电效应。。若是在晶片的两极上加交变电压，，晶片就会产朝气械振动，，同时晶片的机械振动又会产生交变电场。。

3. 晶振片( Crystal Sensor )的分类

此刻市场上常用的有两种频点，，标称频率别离为5.000MHz、、6.000MHz，，凭据膜厚节制仪的探头设计分歧，，选取分歧的电极状态。。

4. 晶振片( Crystal Sensor )的利用

石英晶振片是晶振膜厚节制仪系统中的速度和厚度传感元件。。这些晶体用于所有尺度监控器或节制器以及单、、双或多晶体传感器的真空利用

5. 晶振片( Crystal Sensor )的电极资料

晶振片的电极对膜厚监控至关重要，，目前市场上提供三种尺度电极资料：：金、、银和合金。。 用户所镀的资料分歧，，需选用分歧的电极资料产品。。

金：：是最宽泛使用的传统资料，，它拥有低接触电阻，，高化学不变性，，易于沉积。。适合于镀低应力膜料，，如镀Al Au Ag Cu。。

银：：适合于镀高应力膜料，，如Ni、、Cr、、Mo、、Zr、、Ni-Cr、、Ti、、不锈钢等。。

银铝合金：：适合于镀介质光学膜，，MgF2、、SiO2、、Al2O3、、TiO2等膜料。。

6. 晶振片( Crystal Sensor )膜厚监控道理

石英晶体法监控膜厚，，重要是利用了石英晶体的压电效应和质量负荷效应。。当晶振片上镀了某种膜层，，使晶振片的厚度增长，，则晶振片的固有频率会相应的变动。。

晶体的基频越高，，节制的活络度也越高，，但基频过高时，，晶体片会做得很。。，很薄的晶体片易碎，，通常选用AT切型频率5～10MHz。。选取AT切晶体片，，其振动频率对证量的变动极其活络，，但却不敏感于温度的变动，，拥有精度高、、活络度好等怪异的优势，，极度适合于真空薄膜淀积中的膜厚监控。。

7. 晶振片( Crystal Sensor )再利用

1、、银或银铝合金溶于各类酸，，不适合再处置利用，，必须彻底除去晶振片上的膜层和电极，，重新寄回我司镀上电极。。

2、、金不溶于硫酸，，用户能够自已进行处置，，去掉晶振片上膜层，，洗濯干净再利用，，但反复利用次数不易太多，，不然质量不变性降低影响使用。。

8.晶振片洗濯配方: 

20%氟化氢铵水溶液，，浸泡6小时以上，，浸泡后投入酒精擦拭，，去水即可。。